1. 少數低速(v<0.5m/s)小型減速器采用脂潤滑外，絕大多數伺服減速機的齒輪都采用油潤滑。對于齒輪圓周速度v≤12m/s的齒輪傳動可采用浸油潤滑。即將齒輪浸入油中，當齒輪回轉時粘在其上的油液被帶到嚙合區進行潤滑，同時油池的油被甩上箱壁，有助散熱。

　　為避免浸油潤滑的攪油功耗太大及保證輪齒嚙合區的充分潤滑，傳動件浸入油中的深度不宜太深或太淺，一般浸油深度以浸油齒輪的一個齒高為適度，速度高的還可淺些(約為0.7倍齒高左右)，但不應少于10mm；錐齒輪則應將整個齒寬(至少是半個齒寬)浸入油中。

　　對于多級傳動，為使各級傳動的大齒輪都能浸入油中，低速級大齒輪浸油深度可允許大一些，當其圓周速度v＝0.8～12m/s時，可達1/6齒輪分度圓半徑；當v<0.5～0.8m/s時，可達1/6～1／3的分度圓半徑。

　　如果為使高速級的大齒輪浸油深度約為一齒高而導致低速級大齒輪的浸油深度超過上述范圍時，行星減速機廠家建議可采取下列措施：低速級大齒輪浸油深度仍約為一個齒高，可將高速級齒輪采用帶油輪蘸油潤滑，帶油輪常用塑料制成，寬度約為其嚙合齒輪寬度的1/3～1/2，浸油深度約為0.7個齒高，但不小于10mm；也可把油池按高低速級隔開以及減速器箱體剖分面與底座傾斜。

　　2. 當齒輪圓周速度v>12m/s或蝸桿圓周速度v>10m/s時，則不宜采用浸油潤滑，因為粘在齒輪上的油會被離心力甩出而送不到嚙合區，而且攪動太甚會使油溫升高、油起泡和氧化等降低潤滑性能。

　　此時宜用噴油潤滑，即利用油泵(壓力約0.05～0.3MPa)借助管子將潤滑不高但工作條件相當繁重的重型減速器中和需要大量潤滑油進行冷卻的減速器中。由于噴油潤滑需要專門的管路、濾油器、冷卻及油量調節裝置，因而費用較貴。

　　伺服行星減速機的潤滑油粘度可按高速級齒輪的圓周速度v選取：v≤2.5m/s可選用中極壓齒輪油N320；v>2.5m/s或循環潤滑可選用中極壓齒輪油N220。若工作環境溫度低于0°C，使用潤滑油須先加熱到0°C以上。